在討論FIB聚焦離子束技術的應用與發展時，我們不得不提及其核心部件
探針。探針針尖作為直接與樣品相互作用的部分，其材料的選擇對FIB技術的加工效果及應用范圍有著決定性影響。近年來，鎢材質逐漸成為探針針尖的重要材料，這背后的原因值得我們深入探討。
鎢是一種具有高熔點的難熔金屬，其熔點接近5000℃，這在所有金屬中是最為突出的。這種高熔點特性使得鎢材質在FIB操作過程中能夠承受高的溫度而不發生形變或損壞，保證了加工過程的穩定性和可靠性。
鎢不僅熔點高，還具有很高的硬度和優異的耐磨性。在FIB加工中，探針針尖需要對樣品進行長時間的照射和加工，這就要求針尖材料具備足夠的硬度來抵抗磨損。鎢的這些性質確保了探針在長期使用過程中仍能保持尖銳，從而維持加工精度。
鎢具有良好的電導性和熱導性，這意味著在FIB操作中，由離子束撞擊產生的熱量和電荷可以迅速從鎢探針傳導出去。這種快速散熱和導電的能力有助于避免樣品因局部溫度過高而發生非預期的物理或化學變化，保障了加工過程的精確度和效率。
在進行離子束加工時，探針材料應具備良好的化學穩定性，以避免與樣品材料發生反應，導致污染或加工誤差。鎢在常溫及高溫下均展現出好的化學穩定性，這使得鎢材質探針能夠適用于多種材料的FIB加工，包括半導體、金屬材料等。
鎢材質因其高熔點、優異的硬度與耐磨性、良好的電導性和熱導性以及良好的化學穩定性，成為了探針針尖的理想選擇。這些屬性共同作用，使鎢材質探針在FIB加工中展現出持久的耐用性、高精度和廣泛的應用范圍。
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